Die Funken OES ist zur Analyse metallischer Werkstoffe anderen, oft erheblich teureren Methoden in mehreren Punkten überlegen. Durch den relativ großen Brennfleck (Durchmesser 5 - 8 mm) ist die Methode sehr integral und unempfindlich gegenüber Gefügeinhomogenitäten, wie Ausscheidungen. Die Nachweisgrenze liegt um Größenordnungen niedriger als bspw. bei EDX. Wichtige Elemente wie Kohlenstoff und Stickstoff in Stählen lassen sich somit viel exakter bestimmen. Zudem ist die Probenpräparation durch Überschleifen der Probe denkbar einfach.
Die optische Emissionsspektrometrie OES ermöglicht eine sehr genaue Analyse von metallischen Werkstoffen mit hoher Nachweisgrenze. Hierbei wird die Eigenschaft genutzt, dass jedes Element bzw. dessen Ionen ein spezifisches Lichtspektrum bei entsprechender Anregung emittiert.
Dazu müssen die Atome zunächst in einen ionisierten Zustand überführt werden. Im Falle der Funkenanregung wird über gepulste Funkenentladungen zunächst eine kleine Menge Metall an der Oberfläche geschmolzen, verdampft, atomarisiert und schließlich ionisiert.
Das von der Probe emittierte Licht gelangt über ein Beugungsgitter und eine komplexe Optik auf eine CCD Zeile und wird dort analysiert und ausgewertet. Die Quantifizierung erfolgt anhand von Kalibriergeraden. Dies hat zur Folge, dass für die zu untersuchenden Werkstoffe eine Kalibrierung existieren muss.
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