Die Rasterelektronenmikroskopie ist eine Methode zur hochauflösenden Oberflächenanalyse. Ein fokussierter Elektronenstrahl wird zeilenweise über die Probenoberfläche gerastert. Dabei kommt es zur Wechselwirkung mit der Probe. Die von der Probenoberfläche emittierten Elektronen und Röntgenstrahlen werden mit unterschiedlichen Detektoren gemessen und daraus Bilder bzw. Analysespektren erzeugt. Die Rasterelektronenmikroskopie zeichnet sich durch eine große Tiefenschärfe und hohe Auflösung aus.
Das Rasterelektronenmikroskop besteht aus einer Vakuumprobenkammer und einer Elektronensäule. In der Elektronensäule wird ein Filament geheizt und zur Elektronenemission angeregt. Die Elektronen werden beschleunigt und gebündelt und der daraus entstehende Primärelektronenstrahl auf eine elektrisch leitfähige Probe fokussiert. Der Elektronenstrahl wird zeilenförmig über die Probenoberfläche geführt. Dabei kommt es zu Wechselwirkungen mit der Probe und zur Emission von Elektronen und Röntgenstrahlung. Je nach Signalart können so unterschiedliche Informationen der Probenoberfläche und deren Zusammensetzung analysiert werden.
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