Aufgrund der steigenden Anzahl von Kontakten und der zunehmenden Leitbahndichte werden höchste Ansprüche an die Produktionstechniken, an die verwendeten Materialen und Werkstoffe, sowie an die Reinigung von Mikrosystemen gestellt. Ohne die Analyse mittels abbildender Verfahren ist eine Qualitätskontrolle nicht vorstellbar. Speziell für die Fehleranalyse sind als Vorbereitung für Rasterelektronenmikroskopie (REM) und Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zudem oft komplizierte Präparationen notwendig.
Das SGS INSTITUT FRESENIUS verfügt über langjährige Erfahrungen auf dem Gebiet der Probenpräparation sowie der REM- und TEM-Analytik und setzt diese Methoden auch gezielt in Kombination mit anderen Verfahren ein.
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